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반도체 정보

[기초] Clean Room(클린룸)이란?

by Precision Machinery 2022. 10. 28.
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1. 클린룸이란?

클린룸이란 공기 중 입자 및 오염의 농도가 지정된 한계를 유지하도록 제어가능한 작업 환경입니다. 이러한 작업 환경은 반도체, 제약, PCB 제조, 과학 연구, 제조 센터, 테스트 시설 및 기타 등 아주 약간의 오염만으로도 품질에 큰 영향을 미치는 제조 단위에서 필수입니다.

사람의 이동, 제조 또는 연구 공정 및 장비의 이동으로 인해 발생하는 크린룸의 모든 오염을 제거하거나 필요한 기준까지 관리되어야 합니다. 일반적으로 Federal Standard 209E는 클린룸 표준 및 지침을 널리 따르고 있습니다.

2. 주요 오염원

다음은 일반적으로 알려진 오염 물질 리스트입니다.

Hair Skin Flakes Saliva Makeup
Lotions Perfumes Coughing / Sneezing Excessive Movement
Perspiration Wood Paper Cardboard
Tobacco Products Gum, Cough Drops Packing Material Duct Tape
Dirty Clothing Chemicals Caulks and Paints Aerosols
Ions (Rust) Permanent Markers Non-Cleanroom Pens Smoke
Thinner Solvents Food & Drinks

클린룸 환경의 오염 물질들은 0.3 미크론만큼 작은 경우도 있기때문에 육안으로 확인이 불가능 합니다. 크기는 작지만 품질 면에서는 심각한 손상을 일으킬 수 있습니다.

오염은 미립자, 화학 물질(가스 포함), 정전기 방전, 미생물(박테리아, 곰팡이 등) 및 기타 형태와 같은 다양한 형태를 취할 수 있습니다.

3. 클린룸에서 오염원을 제거하는 방법

-HEPA(고효율 미립자 공기 필터) 이 필터는 오염 제어에 매우 효과적입니다. 0.3미크론 정도의 작은 입자를 걸러냅니다.

-디자인 클린룸은 더 나은 공기 흐름과 최소한의 오염을 위해 특별히 설계되었습니다.

-세척 세척은 오염 제어의 필수 요소입니다. 이러한 모든 청소 작업은 장치의 등급과 설정된 기준에 따라 수행됩니다.

-클린룸 의류(방진복) 클린룸에는 특수 의복이 필요합니다. ESD 앞치마, 손 장갑, 안면 마스크 및 머리 덮개는 표준 의복입니다.

-클린룸에서의 인간 행동 클린룸의 오염도 인간 행동으로 제어할 수 있습니다. 인간이 클린룸에 있을 때 신체적, 심리적 문제가 있습니다. 이러한 환경에서는 빠른 동작이 금지됩니다.

-정전기 방전(ESD) 한 물체에서 다른 물체로 전자의 흐름은 정전기를 생성합니다. ESD로 인한 손상을 방지하기 위해 ESD 보호 재료가 사용됩니다. ESD 보호에 사용되는 일반적인 제품 및 재료는 손목 스트랩, ESD 안전 앞치마, ESD 안전 신발 및 ESD 안전 의류입니다.

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